Silicio

SPS_AC_strip

La nostra profonda conoscenza e capacità ci ha portato a sviluppare un Alimentatore completamente nuovo per la produzione di Silicio.

Nel 1984, FRIEM ha fornito il suo primo alimentatore per un reattore di tipo CVD, per la produzione del silicio policristallino.

Ad oggi per questa produzione, FRIEM ha più di 200 unità in marcia in tutto il mondo, che alimentano tutti i differenti tipi di reattori CVD.

La profonda conoscenza in questo particolare settore e la capacità di sfruttare le continue evoluzioni tecnologiche, hanno portato FRIEM a sviluppare un Alimentatore completamente nuovo per la produzione di silicio. Questa evoluzione ha dato origine all’inizio del 2005 alla nuova linea SPS-DC, e nel 2011 alla nuova linea SPS-AC: oggi è disponibile sul mercato una linea completa di Alimentatori per tutti i tipi di reattori CVD.

Gli Alimentatori SPS-DC sono gli unici basati su convertitori CC/CC con tecnologia a IGBT.

Caratteristiche Principali

Al fine di incrementare la capacità produttiva, i reattori CVD di ultima generazione presentano un maggior numero di barre al loro interno, richiedendo una maggiore flessibilità dell’Alimentatore. FRIEM ha risposto alle nuove esigenze di flessibilità ed indipendenza dei carichi, grazie alla soluzione modulare della nuova linea SPS-DC e SPS-AC.

No. di Barre Reattori 12  18  24  36  48  54

Per ottimizzare la capacità produttiva l’Alimentatore moderno deve garantire le seguenti caratteristiche:

  • Alimentazione indipendente dai carichi: maggiore efficienza del processo grazie al controllo indipendente delle differenti parti del reattore
  • Alimentazione elettrica flessibile tale da potersi sempre adeguare alle esigenze del processo: il processo ripetitivo può di volta in volta variare (differenze fino al 20% da un ciclo all’altro)
  • Rapida capacità di regolazione: accurato controllo del processo e buone prestazioni elettriche.